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蠕动在半导体行业中的应用案例

日期:2021-06-07 16:33:44 点击: 来源:蠕动泵oem_蠕动泵生产厂家_精密蠕动泵
蠕动在半导体行业中的应用案例

 许多实验室和轻工制造商对OEM蠕动泵有严格的要求,以确保实验结果的准确性、数据的可靠性和生产过程的连续性和稳定性。因此,OEM蠕动泵在物料输送、各种试剂的计量和应用中要求具有传输精度高、稳定性好、操作方便、维护简单等特点。

OEM蠕动泵是一种可以选择流量,得到您需要的液体量,设定工作时间,连续循环通关操作,自动计算流量和吞吐量的泵。当输液量达到预设量时,会自动发出声音警报。它还具有断电数据保护功能。工作停止和机器关闭后,再次打开以继续上次使用时设置的数据。
半导体制造需要对加工工具中的液体流动进行连续控制。要求更高的应用之一是化学机械整平 (CMP)。当 CMP 工具无法为抛光基板分配一致的焊膏比例时,将对良率、化学品使用和材料完整性产生重大负面影响。晶圆厚度的变化、缺陷密度的增加、工具停机时间的增加和晶圆浪费只是过程控制不良可能导致的一些问题。
OEM蠕动泵非常适用于半导体行业、高纯度和腐蚀性化学环境。它用于 CMP。它在抛光液流动过程中为芯片提供点分布的线性和可重复性,对 CMP 浆料的低剪切力,变速操作,并允许在非常广泛的操作控制流中保持过程完整性。
浆料性能可以通过晶片平整度来实现,而 OEM 蠕动泵通过控制浆料输送和分配来帮助实现这一目标。 OEM 蠕动泵的非侵入式设计提供了无死流区的直线流动路径,使浆料能够冷凝、硬化和污染。流量达到± 0.5%。 稳定的流体输送不仅保证了研磨液向抛光垫的连续流动,而且减少了研磨液、化学品和去离子水的浪费。
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